無油渦旋真空泵技術(shù)與應(yīng)用簡介

無油渦旋真空泵技術(shù)與應(yīng)用簡介

為防止普通旋片油真空泵對真空系統(tǒng)的返油污染,需要在抽氣系統(tǒng)中加冷阱捕獲油分子;系統(tǒng)運(yùn)行過程當(dāng)中還需要定期清洗除油;有的需要定期更換真空泵油.采用無油渦旋真空泵第一部需要加冷阱之類捕油機(jī)構(gòu)、第二不需要更換真空泵油、第三振動更小、運(yùn)行更平穩(wěn)、第四能耗降低、第五重量更輕、第六突破了油泵使用范圍的限制。這些優(yōu)點(diǎn)使無油渦旋真空泵成為普通旋片油真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品。

上個(gè)世紀(jì)90年代初，世界上首臺渦旋真空泵推向市場，渦旋技術(shù)開始作為一種新型真空獲得技術(shù)在世界范圍內(nèi)被推廣應(yīng)用。無油渦旋真空泵的渦旋盤就是一個(gè)一端與一個(gè)平面相接的一個(gè)或幾個(gè)漸開線螺旋形成一個(gè)渦旋型盤狀結(jié)構(gòu)。一個(gè)靜渦旋盤與一個(gè)動渦旋盤組成的一對渦旋盤付構(gòu)成了無油渦旋真空泵的基本抽氣單元。動渦旋盤由偏心軸驅(qū)動與靜渦旋盤做相對擺動運(yùn)動形成容積不斷變化的新月形真空腔使氣體從抽氣口吸入、排氣口排出、完成吸氣、壓縮、排氣的循環(huán)。

與其他種類的無油真空泵相比無油渦旋真空泵具有下述特點(diǎn)：①.無油，無摩擦--非接觸，無磨損，不產(chǎn)生微粒塵埃污染，可獲得清潔真空；②.抽氣量大--雙渦旋盤結(jié)構(gòu)與單級相比相同直徑泵抽氣容積為2倍，節(jié)省能源；③.抽氣效率高--帶有3-4個(gè)抽氣單元，壓差?。淮髿馀c真空之間由0型圈密封，泄漏低；④.非接觸，良好平衡，力矩影響小，噪音低，振動小；⑤.結(jié)構(gòu)簡單緊湊，相同尺寸下，運(yùn)動半徑小，運(yùn)行平穩(wěn)；⑥.體積小，維修方便，維護(hù)費(fèi)用低；⑦.采用空氣冷卻，無需水冷。

該泵的主要技術(shù)指標(biāo)為

抽速(l/s)：2.0, 4.4, 8.7

    極限真空度(Pa)：1.0

    使用壽命(h)：40000

    大修間隔(h)：8000

冷卻介質(zhì)：空氣

噪聲(dB)：60

    電機(jī)功率(kW)：0.6

該泵主要應(yīng)用于下述領(lǐng)域

①    導(dǎo)體行業(yè)——薄膜制備設(shè)備、半導(dǎo)體器件封裝設(shè)備；

②    學(xué)儀器行業(yè)——同步輻射光束線、電子顯微鏡、分析測試儀器；

③    械設(shè)備行業(yè)——材料制備設(shè)備、真空檢測、材料提純設(shè)備；

④    學(xué)工業(yè)；

⑤    療設(shè)備——牙科儀器、透析機(jī)、生物制品與藥品制備；

⑥包裝行業(yè)——食品、藥品、生物制品等包裝設(shè)備。

該泵能夠給用戶解決真空系統(tǒng)的污染與振動等基礎(chǔ)、共性問題，并且使系統(tǒng)制造與運(yùn)行成本降低。因此在國外市場擴(kuò)展迅速，僅日本一個(gè)公司產(chǎn)品在中國最近3年間銷售額就增長了10倍。是一項(xiàng)不容忽視的技術(shù)與產(chǎn)品。

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