真空泵的類型及主要性能指標

　　真空泵是指造成真空狀態(tài)而使特定空間內(nèi)壓強降低的工具。為將一定空間內(nèi)的氣體通過真空泵獲得不同的真空度，需要采用不同的真空泵。真空泵基本上可分為氣體輸送式和氣體收集式兩種。前者是將氣體從被抽容器中排除，后者是將氣體收集在真空中的某一吸氣表面上。氣體輸送式真空泵又分為機械泵和流體傳輸泵。氣體收集式真空泵又分為冷凝泵和吸附泵。

　　機械泵可分為變?nèi)菔秸婵毡?、牽引式分子泵和渦輪式分子泵三種。

　　流體傳輸泵可分為噴射泵、擴散泵和擴散噴射泵三種。

　　冷凝泵可分為冷凝成液體泵和冷凝成固體泵兩種。

　　吸附泵可分為帶吸附劑泵、連續(xù)形成新鮮吸氣劑膜泵、非蒸汽型消氣劑泵三種。

　　真空泵的主要性能指標

　　(1)真空度。它是指真空泵在給定條件下，經(jīng)充分抽氣后所達到的穩(wěn)定的低壓強。

　　(2)抽氣速率。它是指對于給定氣體，在一定溫度和壓強下，單位時間內(nèi)從泵吸氣口平面處抽除的氣體容積。

　　(3)抽氣量。它是指對于給定氣體，在一定溫度下，單位時間內(nèi)從泵吸氣口平面處抽除的氣體量。

　　(4)大反壓強。需要用前級泵的真空泵，在一指定的負荷下運轉(zhuǎn)時．其出口反壓強升高到某一定值時，則泵會失去正常的抽氣能力，該反壓強稱為大反壓強。

　　(5)起動壓強。泵能夠開始起動工作時的壓強。

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