擴(kuò)散泵中油蒸氣的運(yùn)動(dòng)理論上是由泵嘴向下噴的。但工作中，總會(huì)有部分油蒸氣由第一級(jí)噴嘴或其他地方流往高真空處，影響泵的極限真空，并且會(huì)對(duì)被抽容器造成污染二擴(kuò)散泵的返流量與泵油的特性以及擴(kuò)散泵的結(jié)構(gòu)有關(guān)。
油返流的主要來(lái)源有以下幾個(gè)方面：
(1)凝結(jié)于頂噴嘴表面上油膜的蒸發(fā)，或油膜爬行到噴嘴外表面后的再蒸發(fā)，占整個(gè)返油量的70％左右。
(2)泵壁上凝結(jié)油膜的蒸發(fā)，與泵壁的冷卻情況有關(guān)。
(3)蒸氣射流碰撞泵壁后的散射，與射流的強(qiáng)度有關(guān)。
(4)蒸氣射流中油分子向高真空側(cè)的擴(kuò)散，與射流的溫度有關(guān)。
(5)由泵壁流回油池的油膜或油滴，在進(jìn)入油池前已在該區(qū)受熱而再蒸發(fā)。
(6)泵油熱裂解或因與金屬接觸催化分解，產(chǎn)生輕的較易揮發(fā)成分。
(7)泵油在運(yùn)用時(shí)有陣發(fā)性沸騰，導(dǎo)致噴嘴蒸氣流突發(fā)性膨脹，加劇了無(wú)規(guī)則熱運(yùn)動(dòng)，造成油蒸氣返流。
為減少泵油的返流量，應(yīng)針對(duì)上述返油源采取相應(yīng)的措施：
(1)采用室溫下蒸氣壓強(qiáng)較低、耐熱性能和抗氧化性能較佳的擴(kuò)散泵泵油。
(2)由于第一級(jí)傘形噴嘴外表面和邊緣的返油量占整個(gè)泵總返油量的70％以上，因此，在它的上部加蓋一個(gè)水冷擋油帽可把返油率降低到0．1％～l％。這是目前降低返油量的常用途徑之一。
(3)在擴(kuò)散泵口和被抽系統(tǒng)之間安裝水冷擋板。要進(jìn)一步提高擋油的效果，可以使用液氮冷卻的擋油阱。值得注意的是，水冷擋板或液氮擋油阱的安裝會(huì)減小泵口至被抽容器之間的抽氣管道流導(dǎo)，降低擴(kuò)散泵的有效抽速。
(4)擴(kuò)散泵在加熱初期和停止加熱后不久，要出現(xiàn)比正常運(yùn)用時(shí)大好幾倍的返油率峰值。因此，在這段時(shí)間內(nèi)最好通過真空閥把泵與被抽容器隔斷開。
(5)擴(kuò)散泵的加熱功率要保持在最佳數(shù)值附近，過熱和欠熱都會(huì)增加返油率。在過熱狀態(tài)下，還會(huì)產(chǎn)生大量輕餾份，沾污被抽容器。
(6)被抽容器和高真空導(dǎo)管要經(jīng)常烘烤清潔處理。
(7)在對(duì)返油量要求嚴(yán)格的真空系統(tǒng)中，系統(tǒng)高真空部分與前級(jí)機(jī)械泵之間的旁抽管道上要安裝擋油阱，避免機(jī)械泵的油蒸氣返流至高真空端，機(jī)械泵停止工作時(shí)，務(wù)必關(guān)斷擴(kuò)散泵與機(jī)械泵之間的真空閥，使擴(kuò)散泵與低真空管道隔斷。
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