低溫泵的類型及主要性能
發(fā)布時間：2016年03月16日 09:06 閱讀：5007
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澤德
低溫泵是根據(jù)氣體凝聚、低溫吸附、低溫捕集或吸氣而獲得真空的原理制成的。
1.根據(jù)泵的工作壓力，可分為用于連續(xù)流范圍的低溫泵，用于分子流范圍的低溫泵，通常為冷凝泵再加上一吸附級或一低溫捕集級。
2.根據(jù)冷卻方式，可分為儲槽式低溫泵、蒸發(fā)式低溫泵和制冷式低溫泵等類型。其中，儲槽式低溫泵和蒸發(fā)式低溫泵均使用液態(tài)制冷劑進(jìn)行制冷，冷卻屏蔽面常用液體氮，而低溫面常用液氦或氣氦進(jìn)行制冷。由于液氫的易燃、易爆性，加上價格較高，盡管它的蒸發(fā)焓比液氦高，仍然很少使用。
制冷式低溫泵的制冷機常用吉福德．麥克馬洪型(簡稱G．M制冷機)和斯特林型(簡稱St制冷機)。對于大抽速的制冷式低溫泵，可以采用液氦溫度級的制冷機，并設(shè)置J-T閥，組成液體循環(huán)制冷裝置，有時還利用液體儲槽或氮液化機中的液氮來冷卻擋板和屏蔽面。
低溫泵的主要性能
?、俦瘸樗俑撸瑒龠^其他所有類型的泵。
?、谕庑螞]有限制，既可浸入真空室內(nèi)，也可用法蘭盤固定在真空室外壁上。
?、劭梢蕴峁┩耆鍧嵉恼婵眨瑢φ婵障到y(tǒng)沒有污染。
?、芸梢垣@得極低壓強的真空度，如10-12Pa以下。而且，低溫泵的運行可靠，且抽速比較大時，其投資的運行費用都比傳統(tǒng)的真空泵低，易實現(xiàn)自動化。
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